一、硅烷廢氣處理工藝概述

硅烷燃燒塔采用燃燒洗滌法凈化硅烷氣體，系統(tǒng)內(nèi)包含：硅烷燃燒塔+濾筒除塵+噴淋塔洗滌。主要用于單晶硅、多晶硅行業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的硅烷尾氣凈化。

二、工作原理

工作原理是硅烷與輸入的壓縮空氣或新風(fēng)補(bǔ)氣口補(bǔ)入的空氣接觸而自燃或發(fā)生氧化反應(yīng)，反應(yīng)后生成大量的二氧化硅粉塵；氨氣采用洗滌塔噴淋吸收形成氨水。內(nèi)部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時(shí)配備了氮?dú)馊肟?，更加大了設(shè)備的穩(wěn)定性。

在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來(lái)的粉塵通過(guò)排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易，后續(xù)工藝還配套了濾筒除塵技術(shù)，進(jìn)一步去除氧化硅粉塵，提升粉塵的治理效率。

一般設(shè)備運(yùn)行三個(gè)月左右需清理二氧化硅粉塵，六個(gè)月至一年需清洗設(shè)備內(nèi)部的吸收填料、收水填料及噴頭。

三、用途

主要適用于太陽(yáng)能、光伏行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)及CVD化學(xué)氣體沉積工藝中產(chǎn)生的硅烷氣體凈化。